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電子級級磷酸

廣泛應用于超大規(guī)模集成電路, 薄膜液晶顯示器等微電子工業(yè)，主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻。

關鍵詞：

電子磷酸 志誠化工 食品級磷酸

產品咨詢：

產品描述

電子級磷酸

性狀：

無色、無臭、粘稠狀液體，溶于水及乙醇。

用途：

廣泛應用于超大規(guī)模集成電路, 薄膜液晶顯示器等微電子工業(yè)，主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻。

 

包裝：

200L圓桶、IBC桶、ISO國際標準罐式集裝箱。

 

 

Specifications of Phosphoric Acid Electronic Grade 

National Standard GB 28159-2011

 

No.

Items of Analysis

Unit

E1（LCD grade）

E2 (IC grade)

1

磷酸 H3PO4

%

85-87

85-87

2

易氧化物 H3PO3

%

≤0.005

≤0.001

3

硝酸鹽NO3

mg/kg

≤5

≤0.5

4

硫酸鹽SO4

mg/kg

≤10

≤5

5

氯化物Cl

mg/kg

≤1

≤0.5

6

鋁 Al

µg/kg

≤200

≤50

7

硼 B

µg/kg

-----

≤50

8

銻 Sb

µg/kg

≤3000

≤300

9

砷 As

µg/kg

≤100

≤20

10

鋇 Ba

µg/kg

≤100

≤20

11

鎘 Cd

µg/kg

≤100

≤20

12

鈣 Ca

µg/kg

≤1000

≤50

13

鉻 Cr

µg/kg

≤100

≤20

14

鈷 Co

µg/kg

≤100

≤20

15

銅 Cu

µg/kg

≤50

≤20

16

鎵 Ga

µg/kg

≤100

≤10

17

金 Au

µg/kg

≤100

≤10

18

鐵 Fe

µg/kg

≤300

≤50

19

鉛 Pb

µg/kg

≤100

≤20

20

鋰 Li

µg/kg

≤100

≤10

21

鎂 Mg

µg/kg

≤100

≤20

22

錳 Mn

µg/kg

≤100

≤20

23

鎳 Ni

µg/kg

≤100

≤20

24

鉀 K

µg/kg

≤100

≤20

25

銀 Ag

µg/kg

≤100

≤20

26

鈉 Na

µg/kg

≤500

≤50

27

錫 Sn

µg/kg

------

≤10

28

鍶 Sr

µg/kg

≤100

≤20

29

鈦 Ti

µg/kg

≤100

≤50

30

鋅 Zn

µg/kg

≤100

≤50

31

顆粒 Granule

µm,pcs/ml

-----

------

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